后道工程师(刻蚀)
ChangzhouFull-timePosted Oct 30, 2026
Job description
1、负责光波导干法刻蚀(ICP/RIBE)量产工艺维护、参数管控、制程稳定,保障光栅、芯层结构量产良率; 2、主导干法刻蚀工艺优化、DOE实验、良率提升,解决CD偏差、侧壁异常、均匀性差、刻蚀残留等量产问题; 3、快速处理产线干法刻蚀工艺异常,完成根因分析与8D闭环,降低批次报废; 4、承接干法刻蚀工艺中试转量产,固化量产SOP与标准工艺窗口; 5、负责干法刻蚀制程SPC/CPK管控、工艺标准化与工艺变更管理,保障量产交付。
1、本科及以上,光学、微电子、光电子、半导体、材料等相关专业; 2、5年半导体干法刻蚀量产工艺经验,有AR光栅光波导量产经验优先; 3、熟悉ICP、RIBE干法刻蚀设备与工艺原理,精通刻蚀速率、选择比、均匀性、侧壁形貌、CD精度管控; 4、具备独立工艺调试、良率改善、异常闭环能力,熟悉洁净车间量产规范。
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